На главную страницу

Разработка и изготовление MOVPE установок

От передовых технологий - к дизайну эпитаксиальных систем


МОС-гидридная эпитаксия III-N материалов - аппаратно-зависимая технология, главным элементом которой является эпитаксиальный реактор - ключевая для разработки и производства эффективных светодиодных источников света. На рынке доминируют 3 типа реакторов: Close Coupled Showerhead, Planetary (оба AIXTRON) и TurboDisc (Veeco).

За последние 20-25 лет сменилось 5-6 поколений реакторов (темпы смены нарастают). Каждое последующее позволяло получать более совершенные материалы и приборные структуры. Однако развитие узко ориентировалось на массовое производство синих светодиодов и шло по пути «больше подложек в реакторе, чем у конкурента».

От поколения к поколению:

- оптимизируется дизайн реакторов, повышается совершенство материала и приборных структур.

- увеличиваются максимальные размеры реакторов в пределах поколения (с 6 до 54-121 подложек 2”).

-увеличиваются минимальные размеры реакторов в пределах поколения (с 1 до >50 подложек 2”).

В настоящее время на рынке (как отечественном, так и мировом) нет современных нитридных МОС-гидридных установок с компактными реакторами, предназначенных для проведения НИР и ОКР, мелкосерийного производства. Более того, существующие на рынке реакторы оптимизированы для роста гетероструктур для синих светодиодов. Возможности выращивания в них существенно иных структур ограничены.

Мы исходим из того, что в сложившейся ситуации нет иного пути, нежели создание собственных MOVPE установок. Эпитаксиальные структуры, разрабатываемые и поставляемые компанием Монолюм, выращиваются на установке, созданной нашими специалистами. Для Вас мы также можем разработать и построить MOVPE установку, отвечающую Вашим потребностям.

Изменение вместимости МОС-гидридных реакторов для III-N материалов.

Пересчет на двухдюймовые подложки, поколения обозначены условно.